CIF掃描電鏡等離子清洗機
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CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動(dòng)切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時(shí)可實(shí)現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
更新時(shí)間:2024-04-18 16:05:33
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ 遠程離子清洗源
◆ 清洗快速、高效
◆ 低轟擊損傷
技術(shù)參數
產(chǎn)品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40(CF40) |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz 射頻電源,射頻功率 5-150W 可調 |
遠程等離子源,自動(dòng)匹配器 | |
氣體控制 | 標配單路質(zhì)量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm,自動(dòng)控制氣體流量,不會(huì )受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7 寸全彩觸摸屏控制,中英文互動(dòng)操作界面 |
電源 / 功率 | AC220V,50/60Hz,300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器, 氫氣純度﹥ 99.999%,輸出流量 0-500SCCM |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保,終身維護 |
產(chǎn)品尺寸 | L320xW385xH465mm |
包裝尺寸 | L440xW535xH725mm |
整機重量 | 25 |
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