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CIF掃描電鏡等離子清洗機

    CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動(dòng)切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時(shí)可實(shí)現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

    更新時(shí)間:2024-04-18 16:05:33
  1. 詳細信息

產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  遠程離子清洗源

  清洗快速、高效

◆  低轟擊損傷

技術(shù)參數

 

產(chǎn)品型號

CIF-SEM

法蘭接口

KF40(CF40)

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz 射頻電源,射頻功率 5-150W 可調

遠程等離子源,自動(dòng)匹配器

氣體控制

標配單路質(zhì)量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm,自動(dòng)控制氣體流量,不會(huì )受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7 寸全彩觸摸屏控制,中英文互動(dòng)操作界面

電源 / 功率

AC220V,50/60Hz,300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器,   氫氣純度﹥ 99.999%,輸出流量 0-500SCCM

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保,終身維護

產(chǎn)品尺寸

L320xW385xH465mm

包裝尺寸

L440xW535xH725mm

整機重量

25

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